1、滾刀滾削加工 
通常采用滾刀在滾齒機上切制齒輪。微型齒輪(m0.1以下)滾齒加工時，滾刀的齒形必須進行微加工。因為齒形微小，除滾刀齒形誤差外，滾刀的孔徑跳動、端面跳動、周節等誤差都將對微型齒輪的精度有很大的影響。而加工用的滾齒機、工件主軸、刀具主軸、工件分度機構及工件夾具等諸多方面的精度、剛度以及滾刀和工件的安裝精度等等，都會影響微型齒輪的制造精度，因此，有必要提高制造系統總的綜合精度。在此基礎上，再選擇易切削的材料，就可較容易地實現批量生產模數相同、品種不同的微型齒輪。 


2、注射成型塑料齒輪 
利用注射成型法加工的塑料齒輪，由于能在短時間內實現大批量生產，因此多用于辦公室機器、家用電器等較輕載荷下使用的齒輪。近年來，在注射成型技術不斷提高、注塑材料性能不斷改進的同時，注塑成型齒輪的精度也大幅提高，注塑齒輪用模具的精度和注射成型技術均為影響注射成型法的重要因素。在制作模具時，主要采用線切割和電火花加工。但由于所使用的線徑、成型電極的放電間隙等因素的影響，限制了微型齒輪模具精度的提高。模具也可采用電鑄方法制造。電鑄所用的基準齒輪，采用切削或磨削加工可提高其精度。基準件齒輪可電鍍加厚。通過化學溶解，由陽(凸)的基準件得到陰(凹)的模具。因基準件齒輪的精度高、電鍍處理不會產生變形等原因，因此有可能制作出精度較高的微型齒輪模具。由于采用基準件，借助化學溶解法，可以加工出形狀復雜的模具來，除直齒輪、斜齒輪外，錐齒輪、端面齒輪、蝸桿、蝸輪等各種不同類型的模具都能制造。使用高精度模具，使塑料微型齒輪的大規模生產成為可能。但由于其齒形小、受力容易變形等原因，在大載荷傳動且傳動精度要求高的場合，采用強度大的金屬齒輪更為有利。 
 

3、金屬燒結制作法 
金屬粉末在模具中高壓成型后，進行高溫燒結固化而成的燒結金屬齒輪(粉末冶金齒輪)，其機械強度比塑料齒輪高，在中等載荷條件下使用。模具成型法適于大批量生產。但模具成形后，經過高溫燒結，變形很大，因此要達到必要的精度，在燒結后齒輪還要進行精加工。由于齒形微小，微型齒輪的精加工比較困難，加之金屬粉末的金屬顆粒較大，從而限制了其形狀精度和表面光潔度的提高。成型模具若采用上文注射成型塑料齒輪中所提到的基準齒輪電極電解加工方法，其加工出的齒輪精度就有可能提高。 
 

4、其它制造方法 
采用半導體制造法、光蝕法或激光加工法均可制造微型齒輪。光蝕法可以試制出幾十微米大小的微型齒輪，拉刀可以拉制內齒輪等。今后微型齒輪的需求越來越多，新的制造方法和批量生產技術也將不斷出現。